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2600-PCT-4B半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)
完整的系統(tǒng)附件
為了實(shí)現(xiàn)這種性能，吉時(shí)利公司已經(jīng)開發(fā)出一系列高精密電纜，實(shí)現(xiàn)與吉時(shí)利8010型高功率器件測(cè)試夾具或8020型高功率接口面板的連接，前者用于封裝部件測(cè)試，后者用于晶圓級(jí)測(cè)試。對(duì)于高電壓通道，定制三軸電纜可以提供保護(hù)路徑，支持快速穩(wěn)定和超低電流，包括在3kV全高壓情況下。對(duì)于高電流通道，低電感電纜可以提供快速上升時(shí)間脈沖，使器件自熱效應(yīng)達(dá)到最小。
1. 用于提取參數(shù)的測(cè)試方法。僅列出典型MOSFET，其他器件使用的方法類似。
2. 2657A型高功率系統(tǒng)數(shù)字源表儀器。
3. 2636B型數(shù)字源表或4210型源測(cè)量單元（SMU）儀器。
4. 2651A型高功率系統(tǒng)數(shù)字源表儀器或者可選擇雙2651A型高功率系統(tǒng)數(shù)字源表儀器。
5. 在3000V電壓時(shí)電流20mA，在1500V電壓時(shí)電流120mA。
6. 典型提取能力(示例: 1mA/1V ～ 1A/1mV)。
7. 典型提取能力(示例: 1mV/10A)。
8. 使用PCT-CVU和CVU-3K-KIT時(shí)，±200V直流 (±3kV)偏置。
2600-PCT-4B半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)
6514 100aA - 20mA 10µV - 200V 10µV - 200V 10m? - 200G? 10fC - 20μC - - US $6,820
6517B 100aA - 20mA 10µV - 200V 10µV - 200V 100? - 10P? 10fC - 2μC 0 - ±1000V - US $10,300
6430 10aA - 100mA 1µV - 200V 1µV - 200V 1µ? - >20T? - 0 - ±200V - US $19,800
6220/2182A 1nV-100V 1nV-100V 10n? - 100M? DC：±10fA – 100mA RS-232、GPIB RS-232、GPIB
6221/2182A 1nV – 100V 1nV – 100V 10n? - 100M? "DC：±10fA – 100mA
AC：4pAp-p – 200mAp-p" RS-232、GPIB、LAN
DMM6500 15 "100 nV
10 pA
1 µOhm" "1 M 采樣/秒
16 位" US $1,250
DMM7510-NFP 7.5 GPIB /USB (TMC) / LAN (LXI) 在線購(gòu)買 US $3,970
DMM7510-NFP-RACK 7.5 GPIB /USB (TMC) / LAN (LXI) 在線購(gòu)買 US $3,970
DMM7510 7.5 GPIB /USB (TMC) / LAN (LXI) 在線購(gòu)買 US $4,110
DMM7510-RACK 7.5 GPIB /USB (TMC) / LAN (LXI) 在線購(gòu)買 US $4,110
2110-100 5.5 USB (TMC) 在線購(gòu)買 US $723
2110-120 5.5 USB (TMC) 在線購(gòu)買 US $723